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晶圆厂MES对接：SECS GEM接口集成工程案例

共计 30 章节
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01
半导体制造概述
晶圆制造流程 · MES系统角色 · 设备自动化需求
半导体制造概述晶圆制造流程
02
SECS/GEM协议基础
SECS-I · SECS-II · HSMS协议栈与GEM标准概述
SECS/GEM协议基础
03
SECS-II消息结构
Stream与Function定义 · Message分类 · Item数据类型
SECS-II消息结构
04
HSMS连接管理
主动连接与被动连接 · 会话建立 · 心跳机制与重连策略
HSMS连接管理
05
GEM状态模型
设备状态模型 · 控制状态模型 · 处理状态模型详解
GEM状态模型
06
GEM事件通知
事件定义 · CEID · RPTID
GEM事件通知
07
GEM远程命令
S2F41/S2F42命令机制 · 命令参数与响应处理
GEM远程命令
08
GEM变量收集
数据变量(Data Variable… · 状态变量(Status Variab… · 设备常量(Equipment Con…
GEM变量收集
09
GEM报警管理
报警定义 · 报警通知(S6F11/S6F12) · 报警确认
GEM报警管理
10
GEM配方管理
配方上传 · 下载 · 选择与验证流程
GEM配方管理
11
GEM追溯与跟踪
物料追踪 · 批次跟踪 · 晶圆级追溯
GEM追溯
12
Python SECS库选型
secsgem · pysecs · secs4py等库对比与选择
PythonSECS
13
环境搭建
Python虚拟环境 · SECS库安装 · 模拟器配置
环境搭建Python
14
HSMS连接实现
Python实现主动连接 · 被动连接 · 心跳与重连
HSMS连接实现
15
SECS-II消息编解码
构建SxFy消息 · 解析Item树 · 处理多级嵌套
SECS-II消息编解码
16
GEM状态机实现
Python实现设备状态转换 · 状态查询与上报
GEM状态机实现
17
事件订阅与上报
配置CEID · RPTID · 实现事件触发上报
事件订阅上报
18
远程命令处理
实现S2F41命令接收 · 参数解析 · 执行与响应
远程命令处理S2F41
19
变量收集与监控
定时轮询数据变量 · 状态变量 · 设备常量
变量收集监控
20
报警处理模块
报警触发 · 上报 · 确认与日志记录
报警处理模块报警触发
21
配方管理模块
配方文件解析 · 上传下载 · 选择与验证
配方管理模块配方文件解析
22
物料追溯集成
晶圆ID读取 · 批次关联 · 历史查询
物料追溯集成ID
23
MES接口设计
RESTful API设计 · 消息队列集成 · 数据库存储
MES接口设计
24
多设备并发管理
多连接管理 · 线程安全 · 连接池设计
多设备并发管理多连接管理
25
日志与监控
结构化日志 · 性能指标 · 健康检查
日志监控
26
异常处理与容错
超时处理 · 消息重试 · 断线重连
异常处理容错
27
安全与认证
TLS加密 · 设备认证 · 消息完整性校验
安全认证
28
测试与模拟
设备模拟器开发 · 单元测试 · 集成测试
测试模拟
29
部署与运维
Docker容器化 · CI/CD流水线 · 生产环境监控
部署运维
30
综合案例实战
从零搭建完整SECS/GEM网关 · 对接模拟设备与MES系统
综合案例实战SECS/GEM