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特气供应系统GMS气体监测与FMCS集成调试

共计 30 章节
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01
特气供应系统概述
特气（特殊气体）定义 · 特气在半导体/面板厂的应用 · 特气供应系统（GDS）基本架构
特气供应系统概述特气
02
GMS系统基础
GMS（气体监测系统）定义 · GMS核心功能（泄漏检测 · 浓度报警
GMS系统基础
03
FMCS系统基础
FMCS（厂务监控系统）定义 · FMCS核心功能（数据采集 · 远程控制
FMCS系统基础
04
GMS与FMCS集成概述
集成目的（统一监控 · 联动控制 · 数据共享）
GMSFMCS
05
集成通信协议（一）
Modbus RTU协议原理 · 寄存器映射 · 数据帧结构
集成通信协议Modbus
06
集成通信协议（二）
Modbus TCP/IP协议原理 · 与RTU的区别 · Socket通信
集成通信协议Modbus
07
集成通信协议（三）
OPC UA协议原理 · OPC UA服务器/客户端架构 · 数据节点模型
集成通信协议OPC
08
集成通信协议（四）
BACnet协议原理 · BACnet对象类型（Analog… · Binary Output等）
集成通信协议BACnet
09
GMS传感器选型与信号输出
电化学传感器 · 红外传感器 · 热导传感器
GMS传感器选型
10
GMS控制器配置
控制器型号选择（如PLC · 专用GMS控制器） · I/O模块配置
GMS控制器配置
11
FMCS侧PLC编程（一）
西门子S7-1200/1500基础 · TIA Portal项目创建 · 变量声明
FMCSPLC
12
FMCS侧PLC编程（二）
Modbus通信指令（MB_MAST… · MB_SLAVE） · 数据解析
FMCSPLC
13
FMCS侧PLC编程（三）
OPC UA服务器配置 · 数据发布 · 订阅机制
FMCSPLC
14
FMCS侧SCADA画面开发（一）
WinCC / Intouch基础 · 画面布局 · 控件绑定（I/O Field
FMCSSCADA
15
FMCS侧SCADA画面开发（二）
趋势曲线 · 历史数据查询 · 报表生成
FMCSSCADA
16
集成调试准备
调试工具清单（串口调试助手 · Modbus Poll/Simula… · Wireshark）
集成调试准备调试工具清单
17
单点调试（一）
GMS传感器信号测试（4-20mA回… · RS485通信测试）
单点调试GMS
18
单点调试（二）
GMS控制器与FMCS PLC点对点…
单点调试GMS
19
单点调试（三）
GMS控制器与FMCS PLC点对点…
单点调试GMS
20
单点调试（四）
OPC UA通信测试（UA Expe… · 节点浏览 · 数据读写）
单点调试OPC
21
联动逻辑调试（一）
气体泄漏报警联动（GMS报警 ->… · 启动排风）
联动逻辑调试GMS
22
联动逻辑调试（二）
气体浓度超限联动（GMS浓度高报 -… · 声光报警）
联动逻辑调试GMS
23
联动逻辑调试（三）
设备状态同步（GMS控制器心跳 · 传感器故障状态上传至FMCS）
联动逻辑调试GMS
24
报警管理调试
报警分级（预警 · 报警 · 紧急报警）
报警管理调试报警分级
25
数据采集与存储调试
GMS数据采集频率 · FMCS历史数据库（SQL Serv… · 数据完整性验证
数据采集存储调试
26
HMI人机界面调试
GMS本地HMI与FMCS远程HMI… · 操作权限测试
HMI人机界面调试
27
系统冗余与可靠性测试
GMS控制器冗余切换测试 · FMCS服务器冗余测试 · 网络断线重连测试
系统冗余可靠性测试
28
安全功能调试
密码权限管理 · 操作日志审计 · 紧急停机（ESD）信号测试
安全功能调试密码权限管理
29
系统验收与文档
验收测试计划（FAT/SAT） · 测试报告模板 · 竣工图纸
系统验收文档
30
常见故障排查与案例分析
通信中断 · 数据跳变 · 误报警
常见故障排查案例分析