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031-半导体厂务系统
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《无尘室HVAC控制与洁净室环境温湿度联动调试》
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无尘室HVAC控制与洁净室环境温湿度联动调试
共计 30 章节
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01
洁净室与HVAC概述
洁净室定义 · 洁净度等级(ISO 14644) · HVAC系统在洁净室中的核心作用
HVAC
洁净室
02
HVAC系统核心组件
空气处理机组(AHU) · 风机 · 过滤器(HEPA/ULPA)
HVAC
系统核心组件
03
温湿度基础理论
湿度 · 相对湿度 · 露点温度
温湿度基础理论
湿度
04
洁净室气流组织
层流(单向流)与乱流(非单向流)原理 · 换气次数(ACH)计算
洁净室气流组织
层流
05
压力控制基础
洁净室正压/负压控制原理 · 压差梯度建立 · 压差传感器选型
压力控制基础
洁净室正压
06
传感器与执行器
温湿度传感器(精度与响应时间) · 压差传感器 · 风阀执行器
传感器
执行器
07
DDC控制器与PLC选型
直接数字控制器(DDC)与可编程逻辑…
DDC
PLC
08
控制网络架构
BACnet · Modbus · LonWorks协议介绍
控制网络架构
BACnet
09
PID控制原理
比例(P) · 积分(I) · 微分(D)作用
PID
控制原理
10
温度控制回路
冷冻水/热水阀门PID调节 · 送风温度设定值重置策略
温度控制回路
PID
11
湿度控制回路
蒸汽加湿阀与除湿冷水阀的联动控制 · 防止过调与振荡
湿度控制回路
蒸汽加湿阀
12
风量控制(VAV/CAV)
变风量(VAV)与定风量(CAV)系… · 风量平衡调试
VAV/CAV
风量控制
13
房间压力控制
余风量法(Supply-Exhaus… · 动态补偿算法
房间压力控制
Supply-Exhau…
14
联动调试准备
调试工具(热球风速仪 · 粒子计数器 · 压差计)
联动调试准备
调试工具
15
单回路调试
温度PID回路手动模式测试 · 执行器行程校准 · 传感器零点/量程校准
单回路调试
PID
16
温湿度耦合特性
温度变化对相对湿度的影响 · 解耦控制策略(前馈+反馈)
温湿度耦合特性
温度变化对相对湿…
17
联动调试案例一
恒温恒湿洁净室(22°C±1°C · 45%RH±5%)的夏季工况调试
联动调试案例一
恒温恒湿洁净室
18
联动调试案例二
恒温恒湿洁净室(22°C±1°C · 45%RH±5%)的冬季工况调试
联动调试案例二
恒温恒湿洁净室
19
联动调试案例三
生物安全实验室(负压控制)的压差与温…
联动调试案例三
生物安全实验室
20
联动调试案例四
电子厂房(微振动控制)的HVAC系统…
联动调试案例四
HVAC
21
节能控制策略
新风需求控制(DCV) · 夜间降温模式 · 变频风机节能曲线
节能控制策略
DCV
22
故障诊断与报警
传感器漂移检测 · 执行器卡死报警 · 温湿度超限连锁保护
故障诊断
报警
23
系统验证与确认(CQV)
安装确认(IQ) · 运行确认(OQ) · 性能确认(PQ)流程
CQV
系统验证
24
调试报告编写
数据记录规范 · 趋势图分析 · 偏差分析与整改措施
调试报告编写
数据记录规范
25
GMP与法规要求
FDA 21 CFR Part 11 · EU GMP Annex 1对HVA…
GMP
法规要求
26
先进控制技术
模型预测控制(MPC)在温湿度解耦中…
先进控制技术
MPC
27
数字孪生与仿真
利用仿真软件(如TRNSYS · EnergyPlus)预调试控制逻辑
数字孪生
仿真
28
系统集成与SCADA
OPC UA接口 · 历史数据存储 · 远程监控与报警
SCADA
系统集成
29
常见问题与对策
结露问题 · 湿度失控 · 压差波动
常见问题
对策
30
课程总结与未来趋势
AI优化控制 · 物联网(IoT)传感器 · 边缘计算在洁净室HVAC中的前景
课程总结
未来趋势
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