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反应腔室气流场仿真与CVD薄膜均匀性预测方法

共计 30 章节
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01
课程导论
CVD技术概述 · 薄膜均匀性重要性 · 气流场仿真的作用
课程导论CVD
02
CVD基础原理
化学反应类型（热解 · 还原 · 氧化）
CVD基础原理
03
反应腔室结构
钟罩式 · 平板式 · 管式炉
反应腔室结构钟罩式
04
流体力学基础
连续介质假设 · 纳维-斯托克斯方程 · 层流与湍流
流体力学基础连续介质假设
05
传热与传质基础
热传导 · 对流 · 辐射
传热传质基础
06
计算流体力学(CFD)概述
CFD工作流程 · 有限体积法 · 网格类型（结构/非结构）
CFD计算流体力学
07
几何建模与网格划分
使用CAD软件建立腔室模型 · 网格质量指标（正交性 · 长宽比
几何建模网格划分
08
边界条件与初始条件
入口速度/流量 · 出口压力 · 壁面温度
边界条件初始条件
09
湍流模型
k-epsilon · k-omega SST · LES
湍流模型k-epsilon
10
化学反应模型
有限速率模型 · 涡耗散模型 · 表面反应机理
化学反应模型有限速率模型
11
多组分输运模型
组分输运方程 · 扩散模型（Fickian/Maxwe… · 热扩散效应
多组分输运模型组分输运方程
12
求解器设置
稳态与瞬态 · 压力-速度耦合（SIMPLE/PIS… · 松弛因子
求解器设置稳态
13
后处理与可视化
速度矢量图 · 流线图 · 浓度云图
后处理可视化
14
薄膜均匀性评价指标
片内均匀性 · 片间均匀性 · 批次均匀性
薄膜均匀性评价指…片内均匀性
15
工艺参数影响分析
温度 · 压力 · 气体流量
工艺参数影响分析温度
16
正交实验设计与响应面法
DOE方法 · 主效应分析 · 交互作用
正交实验设计响应面法
17
机器学习辅助预测
神经网络 · 随机森林 · 高斯过程回归在均匀性预测中的应用
机器学习辅助预测神经网络
18
CFD与机器学习耦合
代理模型构建 · 降阶模型 · 实时预测框架
CFD机器学习耦合
19
案例一
平板式腔室气流场仿真（层流条件）——…
案例一平板式腔室气流场…
20
案例二
喷淋头式腔室气流场仿真（湍流条件）—…
案例二喷淋头式腔室气流…
21
案例三
管式炉CVD仿真——热泳效应与沉积速…
案例三CVD
22
案例四
多晶硅薄膜沉积均匀性优化——参数扫描…
案例四多晶硅薄膜沉积均…
23
案例五
GaN MOCVD反应器仿真——复杂…
案例五GaN
24
网格无关性验证
网格加密策略 · 关键变量监测 · 误差带分析
网格无关性验证网格加密策略
25
实验验证方法
原位诊断（RGA · OES） · 薄膜厚度测量（椭偏仪
实验验证方法RGA
26
常见问题与调试
发散原因 · 伪扩散 · 非物理解
常见问题调试
27
开源软件介绍
OpenFOAM基础 · SU2 · Cantera在CVD仿真中的应用
开源软件介绍OpenFOAM
28
商业软件对比
Fluent · COMSOL · CFX
商业软件对比Fluent
29
前沿趋势
数字孪生 · 多物理场耦合 · AI for Science在CVD…
前沿趋势数字孪生
30
课程总结与项目实战
综合项目要求 · 报告撰写规范 · 答辩要点与职业发展建议
课程总结项目实战