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特气供应系统VMB阀门歧管箱泄漏检测与处置流程

共计 30 章节
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01
课程概述
VMB在特气供应系统中的角色与重要性
课程概述VMB
02
VMB基本结构
阀门歧管箱的物理组成与气路原理
VMB基本结构
03
常见特气种类
SiH4 · NH3 · Cl2
常见特气种类SiH4
04
泄漏风险分析
VMB泄漏的主要原因与潜在危害
泄漏风险分析VMB
05
安全法规与标准
SEMI S2 · NFPA 55 · GB 50016等规范要求
安全法规标准
06
泄漏检测原理
电化学 · 红外 · 热导
泄漏检测原理电化学
07
传感器选型
不同气体对应的传感器类型与量程选择
传感器选型不同气体对应的传…
08
检测系统架构
传感器 · 控制器 · 报警主机
检测系统架构传感器
09
报警阈值设定
一级报警 · 二级报警 · 紧急切断阈值的设定逻辑
报警阈值设定一级报警
10
日常巡检流程
巡检路线 · 检查点 · 记录表单填写规范
日常巡检流程巡检路线
11
泄漏模拟测试
使用标准气源进行传感器响应测试的方法
泄漏模拟测试使用标准气源进行…
12
报警响应流程
报警确认 · 人员疏散 · 区域隔离标准步骤
报警响应流程报警确认
13
紧急切断操作
VMB气动阀与手动阀的紧急关闭程序
紧急切断操作VMB
14
个人防护装备(PPE)
SCBA · 防化服 · 防毒面具的正确穿戴
PPE个人防护装备
15
泄漏源定位
使用便携式检漏仪与肥皂水法查找漏点
泄漏源定位使用便携式检漏仪
16
小泄漏处置
螺纹接头 · 垫片微漏的现场紧固与更换操作
小泄漏处置螺纹接头
17
大泄漏处置
管路破裂 · 阀门失效的紧急隔离与吹扫方案
大泄漏处置管路破裂
18
吹扫与置换
氮气吹扫 · 真空抽吸 · 惰性气体置换的标准流程
吹扫置换
19
维修后恢复
维修完成后的气密测试与恢复供气步骤
维修后恢复维修完成后的气密…
20
应急处置工具
防爆扳手 · 堵漏夹具 · 应急堵漏胶带的使用
应急处置工具防爆扳手
21
泄漏事件记录
事件报告模板 · 根本原因分析(RCA)方法
泄漏事件记录事件报告模板
22
人员培训要求
操作员 · 技术员 · 工程师的培训等级与内容
人员培训要求操作员
23
定期维护计划
传感器校准 · 阀门检漏 · 管路检查周期
定期维护计划传感器校准
24
备件管理
常用密封件 · 垫片 · 传感器备件的库存管理
备件管理常用密封件
25
应急预案演练
桌面推演与实战演练的组织与评估
应急预案演练桌面推演
26
案例分析一
某晶圆厂SiH4微漏导致报警的处置复…
案例分析一SiH4
27
案例分析二
Cl2管路腐蚀泄漏的紧急响应与修复
案例分析二Cl2
28
案例分析三
PH3泄漏因传感器失效导致的事故教训
案例分析三PH3
29
持续改进
基于泄漏数据的系统优化与预防措施
持续改进基于泄漏数据的系…
30
课程总结
关键知识点回顾与安全文化倡导
课程总结关键知识点回顾