01
振动源识别
环境振动（地面、建筑）、设备振动（空调、水泵）、人员走动、声学噪声。
环境设备噪声
02
隔振基础理论
隔振效率、传递率、固有频率、阻尼比、刚度与质量的关系。
理论参数
03
被动隔振技术
橡胶垫、弹簧隔振器、气浮隔振、蜂窝芯光学平台。
被动隔振器
04
主动隔振技术
压电作动器、电磁作动器、反馈控制算法、主动隔振系统选型。
主动控制
05
平台结构设计
台面材料（不锈钢、铝合金）、蜂窝芯结构、M6螺纹孔阵列、台面平整度。
结构材料
06
负载布局优化
重心控制、对称布局、局部刚度增强、避免悬臂负载。
布局重心
07
气浮系统维护
气源质量、空气压缩机选型、气管布置、自动调平系统故障排查。
气浮维护
08
环境隔离措施
隔振沟、独立地基、阻尼地板、声学屏蔽罩。
环境隔离
09
振动测量与评估
加速度计、速度计、位移传感器、频谱分析仪、振动标准（VC-A到VC-E）。
测量标准
10
常见痛点案例
低频共振、气浮系统失稳、台面扭转、耦合振动。
案例痛点
11
低频共振排查
模态分析、锤击测试、有限元仿真、增加阻尼措施。
共振排查
12
气浮系统失稳
气垫刚度不足、供气压力波动、调平阀故障、管路泄漏。
气浮失稳
13
台面扭转问题
负载不均、台面厚度不足、加强筋设计、多点支撑。
扭转结构
14
耦合振动分析
多自由度系统、模态耦合、解耦设计、隔振器布局优化。
耦合模态
15
高精度应用需求
光刻机、干涉仪、原子力显微镜、电子显微镜的隔振要求。
高精度设备
16
温度影响与补偿
热膨胀、温度梯度、恒温实验室、主动温度补偿。
温度补偿
17
地面振动特性
城市背景振动、地铁/铁路振动、风致振动、地震影响。
地面振动
18
隔振器选型指南
负载能力、刚度选择、阻尼特性、环境适应性。
选型隔振器
19
安装与调试流程
基础准备、水平校准、负载安装、性能验证。
安装调试
20
定期维护计划
气源系统检查、隔振器状态评估、台面清洁、传感器校准。
维护计划
21
故障诊断流程
振动信号采集、时频分析、故障树分析、根因定位。
诊断分析
22
主动隔振系统调试
传感器安装、控制器参数整定、稳定性测试、抗饱和设计。
主动调试
23
多平台协同隔振
互联平台、同步控制、相对振动抑制、光路稳定性。
协同光路
24
真空环境隔振
真空兼容材料、无磁设计、真空腔体振动、特殊隔振器。
真空特殊
25
超净间集成
洁净等级、材料释气、颗粒控制、隔振与洁净的平衡。
超净间集成
26
成本优化策略
分级隔振、关键设备优先、国产替代、改造升级。
成本优化
27
验收标准与测试
振动时域/频域指标、重复性测试、长期稳定性、报告模板。
验收测试
28
前沿技术趋势
智能隔振、机器学习预测、数字孪生、自适应控制。
前沿智能
29
安全与规范
承重限制、紧急停机、电气安全、操作规范。
安全规范
30
综合案例实战
从痛点识别、方案设计、实施调试到验收的全流程解析。
实战全流程