VIP10
本课程属于：068-镀膜工艺总论 光学光电与激光工程 · 共 10 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

真空蒸发镀膜设备调试与薄膜制备

共计 30 章节
可可资料掘金营 · 点击在线试看
01
真空蒸发镀膜技术概述与设备认识
蒸发镀膜基本原理 · 系统组成（真空腔体 · 抽气系统
真空蒸发镀膜技术…设备认识
02
真空获得与测量系统调试
机械泵 · 分子泵 · 离子泵的工作原理与操作规范
真空获得测量系统调试
03
蒸发源类型与安装调试
电阻加热蒸发源（钨舟 · 钼舟） · 电子束蒸发源
蒸发源类型安装调试
04
基片清洗与预处理工艺
基片（硅片 · 玻璃等）的清洗流程（超声 · 酸碱洗
基片清洗预处理工艺
05
真空腔体清洁与放气处理
腔体内部清洁规程 · 部件放气处理（烘烤 · 预抽）
真空腔体清洁放气处理
06
蒸发材料准备与蒸发特性
常用蒸发材料（金属 · 氧化物等）的纯度 · 形状
蒸发材料准备蒸发特性
07
膜厚监控系统调试
石英晶振膜厚监控仪的原理 · 安装 · 校准（密度
膜厚监控系统调试石英晶振膜厚监控…
08
设备联机调试与安全操作
电气控制 · 气路 · 水冷系统检查
设备联机调试安全操作
09
真空蒸发镀膜典型工艺参数设定
本底真空度 · 基片温度 · 蒸发速率
真空蒸发镀膜典型…本底真空度
10
电阻加热蒸发法制备金属薄膜实战
以铝 · 金等为例 · 完成蒸发源装料
电阻加热蒸发法制…以铝
11
电子束蒸发法制备氧化物薄膜实战
电子束蒸发源调试 · 坩埚选择 · 束流调节
电子束蒸发法制备…电子束蒸发源调试
12
薄膜厚度均匀性调试
基片架旋转 · 蒸发源与基片距离 · 掩模设计对均匀性的影响
薄膜厚度均匀性调…基片架旋转
13
薄膜附着力改善与测试
基片加热 · 清洗 · 过渡层对附着力的影响
薄膜附着力改善测试
14
薄膜结构表征与性能测试
X射线衍射（XRD） · 扫描电镜（SEM） · 台阶仪
薄膜结构表征性能测试
15
设备日常维护与保养
真空泵换油 · 腔体清洁 · 密封圈更换
设备日常维护保养
16
常见故障诊断与排除
真空抽不上去 · 蒸发源不加热 · 膜厚监控异常
常见故障诊断排除
17
工艺重复性与稳定性验证
通过多次镀膜实验评估设备与工艺的重复… · 确定关键控制参数与监控点
工艺重复性稳定性验证
18
多源共蒸发与合金薄膜制备
双源或多源共蒸发系统调试 · 速率独立控制 · 合金成分均匀性调控与实例
多源共蒸发合金薄膜制备
19
反应蒸发法制备化合物薄膜
反应气体（O2 · N2）引入系统调试 · 分压控制
反应蒸发法制备化…O2
20
大面积与批量镀膜均匀性控制
行星式基片架 · 多蒸发源布置 · 挡板设计对大面积均匀性的影响与调试
大面积批量镀膜均匀性控…
21
薄膜应力控制与基片翘曲改善
蒸发工艺参数（速率 · 温度 · 厚度）对薄膜应力的影响
薄膜应力控制基片翘曲改善
22
真空蒸发镀膜在光学薄膜中的应用实例
增透膜 · 反射膜的设计与制备 · 光学监控与误差分析
真空蒸发镀膜光学薄膜
23
真空蒸发镀膜在电子器件中的应用实例
电极层 · 阻挡层制备 · 方阻与接触电阻测试
真空蒸发镀膜电子器件
24
设备升级与自动化改造
膜厚监控自动化 · 基片架程序控制 · 数据采集系统集成与调试
设备升级自动化改造
25
真空蒸发镀膜工艺文件编制
工艺规程 · 设备操作SOP · 点检表
真空蒸发镀膜工艺…工艺规程
26
镀膜质量检验与标准
外观检验 · 厚度检验 · 附着力检验
镀膜质量检验标准
27
真空蒸发镀膜实验设计与优化
正交实验 · 单因素实验设计方法 · 工艺参数优化与结果分析
真空蒸发镀膜实验…优化
28
真空蒸发镀膜设备调试综合实战
从设备安装检查到工艺调试 · 薄膜制备 · 性能测试全流程综合训练
真空蒸发镀膜设备…从设备安装检查到…
29
薄膜制备中的缺陷分析与控制
针孔 · 颗粒 · 划伤
薄膜制备缺陷分析
30
课程总结与能力评估
回顾关键技能点 · 进行理论测试与实操考核 · 制定持续学习路径
课程总结能力评估