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硅光PDK设计套件：热管理设计与参数提取实践

共计 30 章节
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01
硅光PDK概述
硅光PDK的定义 · 在光电子设计自动化（PDA）中的作用 · PDK与标准CMOS PDK的异同
PDK硅光
02
热管理在硅光中的重要性
热光效应原理 · 温度对硅光器件（MZI · 微环
热管理硅光
03
PDK热管理设计流程
从器件仿真到版图验证的完整热设计流程 · PDK中热模型的分层结构
PDK热管理设计流程
04
热源分析与建模
硅光芯片中的主要热源（激光器 · 调制器 · 驱动器）
热源分析建模
05
热传导基础与材料参数
硅 · 二氧化硅 · 氮化硅等材料的热导率
热传导基础材料参数
06
热阻网络模型
一维热阻网络构建 · 从器件级到芯片级的热阻模型 · PDK中热阻参数的标准化提取
热阻网络模型一维热阻网络构建
07
有限元热仿真基础
COMSOL/Ansys Lumer… · 网格划分策略 · 边界条件设置
有限元热仿真基础COMSOL/Ansys
08
PDK热仿真脚本化
利用Python/Lumerical… · 参数化扫描与结果提取
PDK热仿真脚本化
09
热致相位漂移建模
波导中热光效应引起的相位变化模型 · PDK中相位漂移系数的参数化表示
热致相位漂移建模波导
10
微环谐振器的热调谐
微环谐振波长随温度的变化模型 · PDK中微环热调谐效率参数的提取
微环谐振器的热调…微环谐振波长随温…
11
马赫-曾德尔干涉仪（MZI）的热稳定性
MZI臂长差与温度敏感性 · PDK中MZI热稳定性的设计规则
MZI马赫
12
阵列波导光栅（AWG）的热管理
AWG中心波长温度漂移 · 无热化AWG设计原理与PDK支持
AWG阵列波导光栅
13
热隔离结构设计
悬空波导 · 沟槽隔离 · 微桥结构的设计原理
热隔离结构设计悬空波导
14
热沉与散热结构
片上金属热沉设计 · TSV（硅通孔）散热 · PDK中热沉版图设计规则
热沉散热结构
15
热电制冷器（TEC）集成
片上TEC的建模 · TEC与硅光芯片的集成方案 · PDK中TEC接口参数
TEC热电制冷器
16
热管理版图设计规则
热相关的最小间距 · 金属密度规则 · 热通孔阵列规则在PDK中的实现
热管理版图设计规…热相关的最小间距
17
参数提取基础
参数提取（PEX）在PDK中的角色 · 热参数提取与电参数提取的协同
参数提取基础PEX
18
热参数提取方法
基于仿真数据的曲线拟合 · 基于测试数据的参数反演 · 机器学习辅助提取
热参数提取方法基于仿真数据的曲…
19
PDK热模型文件格式
PDK中热模型的标准化描述（如SPI… · Verilog-A热模型）
PDK热模型文件格式
20
热模型与电模型耦合
电热协同仿真接口 · PDK中电热耦合模型的参数传递机制
热模型电模型耦合
21
热参数提取脚本开发
使用Python开发热参数提取脚本 · 数据清洗与拟合算法实现
热参数提取脚本开…Python
22
PDK热参数库管理
热参数数据库结构 · 版本控制 · 参数更新与维护流程
PDK热参数库管理
23
热敏器件设计
基于热光效应的温度传感器设计 · PDK中热敏器件的标准单元与灵敏度参…
热敏器件设计基于热光效应的温…
24
热补偿电路设计
片上加热器反馈控制电路 · PDK中热补偿电路的标准单元库
热补偿电路设计片上加热器反馈控…
25
热串扰分析与抑制
相邻器件间的热串扰建模 · PDK中热串扰系数的提取与设计指导
热串扰分析抑制
26
工艺角与温度角分析
PDK中热工艺角（TT/FF/SS）… · 温度角（-40°C至85°C）的仿真…
工艺角温度角分析
27
热可靠性设计
热循环应力 · 热迁移效应 · PDK中热可靠性设计规则与寿命模型
热可靠性设计热循环应力
28
PDK热管理验证流程
DRC（设计规则检查）中的热规则检查 · LVS（版图与原理图一致性检查）中的…
PDK热管理验证流程
29
案例实战
MZI热调谐器设计 · PDK热模型调用与验证
案例实战MZI
30
案例实战
4通道微环阵列热管理 · 加热器功率预算 · PDK热参数提取报告生成
案例实战4通道微环阵列热…