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硅光PDK设计套件：热管理版图绘制与参数提取实践

共计 30 章节
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01
硅光PDK概述
硅光PDK的定义 · 在光电集成中的核心作用 · 主流商用PDK介绍（如GlobalF…
PDK硅光
02
热管理在硅光中的重要性
热光效应原理 · 温度对硅光器件（MZI · 微环）性能的影响
热管理硅光
03
PDK热管理组件库介绍
标准热调谐器 · 微加热器 · 温度传感器（如RTD）的版图单元
PDK热管理组件库介绍
04
版图设计环境搭建
EDA工具（如KLayout · Cadence Virtuoso）的… · 工艺层设置
版图设计环境搭建EDA
05
基础版图绘制（一）
绘制一个简单的电阻型微加热器版图 · 定义电极与加热区
基础版图绘制绘制一个简单的电…
06
基础版图绘制（二）
绘制一个PN结型温度传感器版图 · 理解掺杂层与接触孔
基础版图绘制PN
07
版图设计规则检查（DRC）
热管理组件的特殊DRC规则（如电流密… · 金属线宽要求）
DRC版图设计规则检查
08
版图与原理图一致性检查（LVS）
热管理器件的LVS流程 · 识别加热器电阻值与版图尺寸的关系
LVS版图
09
参数化单元（PCell）基础
使用Python或SKILL语言创建…
PCell参数化单元
10
PCell高级应用
创建包含加热器与温度传感器的复合热管…
PCell高级应用
11
热仿真参数提取（一）
从版图中提取加热器的物理尺寸（长度 · 宽度 · 层厚度）用于热阻计算
热仿真参数提取从版图
12
热仿真参数提取（二）
提取温度传感器的灵敏度参数（如电阻温…
热仿真参数提取提取温度传感器的…
13
热串扰分析版图设计
设计两个相邻微环的版图 · 用于评估热串扰
热串扰分析版图设…设计两个相邻微环…
14
热隔离结构版图
绘制悬空桥 · 沟槽隔离等热隔离结构的版图
热隔离结构版图绘制悬空桥
15
金属互连热管理
绘制大电流金属走线版图 · 考虑电迁移与焦耳热效应
金属互连热管理绘制大电流金属走…
16
热管理版图的寄生参数提取
提取加热器与传感器之间的寄生电容与耦…
热管理版图的寄生…提取加热器
17
热管理版图与电路联合仿真
将提取的热参数导入SPICE或Ver…
热管理版图电路联合仿真
18
自动化参数提取脚本
使用Python脚本（基于KLayo…
自动化参数提取脚…Python
19
热管理版图验证流程
热分布均匀性检查 · 热点识别与版图优化
热管理版图验证流…热分布均匀性检查
20
多通道热管理阵列版图
设计一个4x4的微环阵列 · 每个微环配备独立加热器与传感器
多通道热管理阵列…x4
21
版图数据导出与GDSII
将热管理版图导出为GDSII格式 · 确保层映射正确
GDSII版图数据导出
22
热管理版图的标准化与文档
编写PDK热管理组件的技术文档 · 包括版图尺寸 · 电热参数表
热管理版图的标准…文档
23
案例研究（一）
马赫-曾德尔干涉仪（MZI）的热调谐…
案例研究MZI
24
案例研究（二）
微环谐振器的热稳定版图设计与闭环控制…
案例研究微环谐振器的热稳…
25
案例研究（三）
片上热光开关阵列的版图布局与热管理优…
案例研究片上热光开关阵列…
26
热管理版图的可靠性设计
考虑热循环 · 热应力与版图寿命的布局技巧
热管理版图的可靠…考虑热循环
27
先进热管理技术版图
集成热电冷却器（TEC）或微流道冷却…
先进热管理技术版…TEC
28
PDK热管理组件的版本控制
使用Git管理PDK热管理库的版图与…
PDK热管理组件的版本…
29
热管理版图设计的常见错误与调试
短路 · 开路 · 热分布不均等问题的排查
热管理版图设计的…调试
30
课程总结与未来趋势
硅光热管理的发展方向（AI优化版图 · 3D集成热管理）
课程总结未来趋势