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硅光PDK工艺设计规则：热管理仿真与参数提取实践

共计 30 章节
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01
硅光PDK概述
硅光PDK的定义 · PDK在硅光芯片设计中的核心作用 · PDK与热管理的关系
PDK硅光
02
热管理基础
热传导 · 热对流 · 热辐射的基本原理
热管理基础热传导
03
硅光材料热物性
硅 · 二氧化硅 · 锗
硅光材料热物性二氧化硅
04
热管理仿真工具介绍
COMSOL · Lumerical HEAT · Ansys Icepak等工具的选型…
热管理仿真工具介…COMSOL
05
PDK热参数提取流程
从版图到热模型的参数提取标准流程
PDK热参数提取流程
06
热阻网络模型
硅光芯片中热阻网络的构建方法 · 节点温度计算
热阻网络模型硅光芯片
07
热仿真边界条件设置
热源功率 · 环境温度 · 对流换热系数
热仿真边界条件设…热源功率
08
硅光器件热效应
马赫-曾德尔干涉仪(MZI)的热光效… · 微环谐振器的热调谐
硅光器件热效应MZI
09
热串扰分析
相邻波导 · 调制器之间的热串扰仿真与抑制方法
热串扰分析相邻波导
10
热管理设计规则(DRC)
热间距规则 · 热密度规则 · 热通孔规则
DRC热管理设计规则
11
热仿真网格划分
网格类型选择 · 网格密度优化 · 网格质量检查
热仿真网格划分网格类型选择
12
稳态热仿真
稳态温度场分布 · 热梯度计算 · 热应力初步分析
稳态热仿真稳态温度场分布
13
瞬态热仿真
热时间常数 · 开关瞬态热响应 · 热弛豫时间
瞬态热仿真热时间常数
14
热光系数提取
通过仿真提取材料热光系数(dn/dT…
热光系数提取dn/dT
15
热膨胀系数提取
热应力与热膨胀对波导对准的影响仿真
热膨胀系数提取热应力
16
热管理参数化扫描
功率 · 间距 · 材料厚度等参数对热性能的影响扫描
热管理参数化扫描功率
17
热管理优化设计
基于仿真的热沉设计 · 热隔离结构优化
热管理优化设计基于仿真的热沉设…
18
热管理验证
仿真结果与实验测试数据的对比验证方法
热管理验证仿真结果
19
PDK热模型库构建
标准热模型单元库的建立与封装
PDK热模型库构建
20
热管理脚本自动化
Python脚本驱动热仿真与参数提取
热管理脚本自动化Python
21
热管理数据后处理
温度云图 · 热流矢量图 · 温度剖面曲线的生成
热管理数据后处理温度云图
22
热管理报告生成
自动生成热管理仿真报告模板
热管理报告生成自动生成热管理仿…
23
多物理场耦合
热-电-光耦合仿真 · 热对电光调制效率的影响
多物理场耦合光耦合仿真
24
热管理可靠性
热循环 · 热疲劳 · 热失效模式分析
热管理可靠性热循环
25
热管理工艺角
工艺偏差对热参数的影响 · 工艺角仿真
热管理工艺角工艺偏差对热参数…
26
热管理标准与规范
JEDEC · IPC等热管理相关标准在硅光PDK中…
热管理标准规范
27
热管理案例分析
典型硅光收发芯片的热管理仿真案例
热管理案例分析典型硅光收发芯片…
28
热管理设计规则检查(DRC+)
自动化热DRC脚本开发
DRC+热管理设计规则检…
29
热管理参数提取验证
参数提取精度评估与校准方法
热管理参数提取验…参数提取精度评估
30
课程总结与展望
硅光热管理前沿技术 · AI辅助热管理设计趋势
课程总结硅光热管理前沿技…