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III-V硅异质集成激光器工程

共计 30 章节
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01
课程导入与工程全景
目标=III-V硅异质集成激光器的核… · 典型应用场景 · 产业链分工
课程导入工程全景
02
III-V材料与硅材料基础
目标=直接带隙与间接带隙 · 量子阱与量子点增益介质 · 硅的光学常数
III-V材料
03
异质集成技术路线总览
目标=晶圆键合 · 微转印 · 选择性外延
异质集成技术路线…目标=晶圆键合
04
硅基光子器件与无源电路基础
目标=SOI波导 · 光栅耦合器 · 边缘耦合器
硅基光子器件无源电路基础
05
III-V激光器核心结构与工作特性
目标=法布里-珀罗 · DFB · DBR
III-V激光器核心结构
06
异质集成激光器的光学耦合工程
目标=模场匹配 · 锥形波导 · 绝热耦合
异质集成激光器的…目标=模场匹配
07
晶圆键合工艺与界面工程
目标=亲水与疏水键合 · 等离子体活化 · 退火条件
晶圆键合工艺界面工程
08
III-V晶圆减薄、刻蚀与转移工艺
目标=临时键合 · 研磨抛光 · 湿法与干法刻蚀
III-V晶圆减薄
09
异质集成激光器的电注入与热管理
目标=接触电阻 · 电流扩展 · 绝缘隔离
异质集成激光器的…热管理
10
异质集成激光器的版图与工艺设计套件
目标=层定义 · 对准标记 · 设计规则检查
异质集成激光器的…工艺设计套件
11
异质集成激光器的光学仿真方法
目标=时域有限差分 · 本征模展开 · 光束传播法
异质集成激光器的…目标=时域有限差…
12
异质集成激光器的电学与热学仿真
目标=漂移-扩散模型 · 泊松方程 · 焦耳热
异质集成激光器的…热学仿真
13
异质集成激光器的增益与模式耦合建模
目标=增益谱 · 载流子密度 · 光限制因子
异质集成激光器的…模式耦合建模
14
异质集成激光器的噪声与线宽工程
目标=自发辐射噪声 · 闪烁噪声 · 1/f噪声
异质集成激光器的…线宽工程
15
异质集成激光器的调制特性
目标=直接调制 · 电吸收调制 · 马赫-曾德尔调制
异质集成激光器的…目标=直接调制
16
异质集成激光器的波长控制与调谐
目标=热调谐 · 电调谐 · 微机电系统调谐
异质集成激光器的…调谐
17
异质集成激光器的封装与光纤耦合
目标=芯片贴装 · 引线键合 · 透镜光纤
异质集成激光器的…光纤耦合
18
异质集成激光器的测试与表征
目标=光功率-电流-电压测试 · 光谱测试 · 远场测试
异质集成激光器的…表征
19
异质集成激光器的可靠性工程
目标=失效模式与机理 · 静电放电与过电应力 · 湿气与离子污染
异质集成激光器的…目标=失效模式
20
硅光收发模块中的异质集成激光器
目标=数据中心与相干通信架构 · 外置激光源与集成激光源对比 · 波长复用
硅光收发模块异质集成激光器
21
异质集成激光器在传感与雷达中的应用
目标=调频连续波激光雷达 · 光学相干断层扫描 · 气体传感
异质集成激光器传感
22
异质集成激光器在量子与非线性光子学中的应用
目标=压缩态光源 · 纠缠光子对 · 微腔孤子
异质集成激光器量子
23
异质集成激光器的先进材料与结构
目标=量子点激光器 · 硅基量子阱 · 锗锡激光器
异质集成激光器的…结构
24
异质集成激光器的制造良率与成本工程
目标=工艺窗口 · 缺陷密度 · 统计过程控制
异质集成激光器的…成本工程
25
异质集成激光器的设计-工艺协同优化
目标=工艺偏差建模 · 鲁棒性设计 · 蒙特卡洛分析
异质集成激光器的…工艺协同优化
26
异质集成激光器的系统集成与驱动控制
目标=驱动电路 · 温控电路 · 自动功率控制
异质集成激光器的…驱动控制
27
异质集成激光器的标准化与知识产权
目标=国际电工委员会与电信行业标准 · 可靠性标准 · 测试方法标准
异质集成激光器的…知识产权
28
异质集成激光器的项目实战一
目标=面向数据中心400G/800G… · 仿真 · 版图设计与流片准备
异质集成激光器的…G/800G
29
异质集成激光器的项目实战二
目标=异质集成激光器芯片测试 · 封装 · 模块联调与性能优化
异质集成激光器的…目标=异质集成激…
30
异质集成激光器的前沿与展望
目标=异质集成与单片集成的融合 · 三维集成 · 光电共封装
异质集成激光器的…目标=异质集成